芯源微公布“一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统”专利|热点评

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天眼查APP显示，近日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的“一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统”专利公布。 摘要显示，本发明属于涂胶显影设备技术领域，具体地说是一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统，包括竖直分隔板、温湿度调节装置、风机过滤机组、单元腔体供风主管、单元腔体排风管、单元腔体风盒、机器人腔体供风主管、机器人腔体排风管、机器人腔体风盒。本发明通过温湿度调节装置、单元腔体供风主管、单元腔体排风管、单元腔体风盒的配合设置，可对各单元腔体有效供恒温恒湿洁净的工艺气体环境，通过风机过滤机组、机器人腔体供风主管、机器人腔体排风管、机器人腔体风盒的配合设置，可对各机器人腔体有效供洁净的非工艺气体环境，且能够有效避免机器人腔体的颗粒进入单元腔体，进而确保涂胶和显影工艺稳定及对应产品质量。

关键词： 单元腔体排风 单元腔体风盒 机器人腔体